环节蹧蹋！富加镓业4英寸VB法氧化镓衬底性能达到海外先进水平

　　记者从杭州光学精密机械盘考所获悉，杭州光机所孵育企业杭州富加镓业在垂直布里奇曼（VB）法氧化镓晶体孕育界限得回环节蹧蹋，经测试单晶质料达到海外先进水平，现同步向市集推出晶体孕育成就及工艺包。测试效果标明，使用富加镓业成就孕育出的4英寸VB晶体内无孪晶，单晶衬底XRD半高全宽（FWHM）优于50arcsec，与导模法制备的氧化镓单晶衬底质料很是，性能达到海外先进水平；衬底名义毛糙度（Ra）小于0.2nm，合约交易盘曲度（Bow）达到1.8μm，翘曲度（warp）达到9.3μm，总厚度偏差（TTV）<10.0μm，相干加工蓄意达到4英寸碳化硅衬底居品条款。VB法装备的到手研制，记号着公司在时间革命上得回了环节蹧蹋，是公司于2024年5月在海外上着手蹧蹋导模法“一键长晶”时间后又一里程碑事件。良友露出，富加镓业为衢州发展(600208)参股的高技术投资企业。