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记者从杭州光学精密机械盘考所获悉，杭州光机所孵育企业杭州富加镓业在垂直布里奇曼（VB）法氧化镓晶体孕育界限得回环节蹧蹋，经测试单晶质料达到海外先进水平，现同步向市集推出晶体孕育成就及工艺包。测试效果标明，使用富加镓业成就孕育出的4英寸VB晶体内无孪晶，单晶衬底XRD半高全宽（FWHM）优于50arcsec，与导模法制备的氧化镓单晶衬底质料很是，性能达到海外先进水平；衬底名义毛糙度（Ra）小于0.2nm，盘曲度（Bow）达到1.8μm，翘曲度（warp）达到9.3μm，总厚度偏差（TTV）10.